臭氧与纯净水混合后在水中的半衰期主要取决于水温，水处理臭氧发生器水温高则半衰期短;水温低则半衰期长。一般在15～40min之间。这就对生产饮用纯净水企业的工艺流程有较高的要求。有些生产企业的工艺流程和生产控制不尽合理，是造成灌装水臭氧浓度较低的原因。

　　臭氧杀菌器是以氧气或空气为气源，空气经压缩、冷凝、过滤、干燥等预处理净化后，移动式臭氧发生器进入高压放电管，在高压放电环境中，空气中部分氧分子激发分解成氧原子，小型臭氧发生器氧原子与氧原子(或氧原子与氧分子)结合生成臭氧。臭氧与水混合后形成的臭氧水溶液具有很强的杀菌作用，它能够迅速广泛地杀灭多种微生物和致病菌，当其浓度达到2mg/L时，作用1min，即可将大肠杆菌、金黄色葡萄球菌、细菌的芽孢、黑曲霉、酵母等微生物杀死。实际生产中，灌入桶或瓶内的臭氧水浓度应该在0.5mg/L以上，否则无法保证杀死包装材料上残留的微生物，很可能会造成这样的结果:产品入库检验时，由于低浓度臭氧的抑菌作用，臭氧发生器活菌的检出率较低，但放置一周后，由于细菌的生长繁殖，复检时的检出率可能会很高。