真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量，当使用一种泵不能知足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相增补才能知足工艺要求，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空，有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用，真空泵的极限压力应该知足该工艺的工作压力，通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数目级。

　　当选择油封真空泵时，要考虑真空泵排出来的油蒸汽对环境的影响如何。假如环境不答应有污染，应该选无油真空泵，或者把油蒸汽排到室外，真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不答应，应选择无振动的泵或者采取防振动措施，当使用一种泵不能知足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相增补才能知足工艺要求。每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在答应工作压力以外长时间工作。