9000型是一个基于弹簧作用于膜片操作原理的背压调节阀，设计用于特殊的小流量气体的应用。背压阀控制入口压力而不是控制出口压力，操作上类似于安全阀。产品结构紧凑，可精确调节压力，并且能维持入口压力不随流量变化而变化。

　　设计特点

　　• 精确调节

　　• 软阀座

　　• 全棒料结构

　　• 压力表连接口

　　• 适合面板安装

　　产品规格

　　流量范围: 0-1000 sccm

　　最大操作温度: 160℉(71℃)

　　性能: 流量灵敏度（偏差）:请详见A图

　　-------精确调节（分辩率）: 15转

　　压力调节范围: 0-15 psig(0-103.4KPa)

　　连接 :入口、出口和表接口均为 1/8”Swagelok

　　结构材质

　　主体:铝或不锈钢

　　阀帽:铝

　　孔:铜不锈钢

　　阀座: Viton

　　隔膜: Fairprene BN-5029（Buna N在尼龙上）或不锈钢

　　范围弹簧:琴线