设计特点

　　· 压电式控制阀

　　· 金属密封结构

　　· 响应时间快

　　· 设计紧凑

　　· 316L/316SS不锈钢结构

　　· 高精度达± 1％

　　P2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对小流量液体进行快速、精确控制的领域。其简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。独特的热式测量系统提供精确的测量，同时液体温度上升小于5度。高级的控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可提供对小流量液体 进行 快速、稳定的控制。 P2000i系列同时也包括有一个液体质量流量计，用于那些不需要进行流量控制的场合。

　　D2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对液体快速、精确控制的半导体制造工艺。数字控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可让响应时间小于1秒。洁净空间内的装配工艺和全金属密封结构确保（高纯度和泄漏完整性）。独特的层流旁路和传感器部件提供精确的测量，同时液体温度仅上升5度，此外，D2000i的简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。

　　液体流量计和控制器技术参数

　　流量范围 : P2000i系列和D2000i系列液体流量控制器是以异丙醇（IPA）来标定的，在测量其它液体介质时需要乘以一个校正系数，具体请参考表一

　　响应时间 : P2000i系列 : 2s（ 设定点的2％之内 ）

　　D2000i系列:＜1s（ 流量的5％之内 ）

　　精度和线性 :± 1％满量程（P2000i系列）；±1％读数（D2000i系列）

　　重复性 : P2000i系列:＜±0.2％满量程（任意连续温度下）

　　D2000i系列:＜±0.2％读数

　　量程比: P2000i系列:50:1（2％-100％满量程）

　　D2000i系列:20:1（5％-100％满量程）

　　最大操作温度 : 40℃（104℉）

　　最大操作压力: 125PSIG

　　温度系数 :＜ 0.1％/℃

　　>设定点输入 /流量输出信号 : 0-5VDC/0-5VDC（输出流量信号时:需最小2KΩ电阻）

　　供电电源 :﹢ 15VDC±10％（电流消耗＜200mADC时）

　　泄露率 : 1х10 -9 atm.cc/s He

　　预热时间: 10分钟（P2000i系列）；20分钟（D2000i系列）

　　电气连接 : 9针D型

　　入口 /出口过程连接 : 1/8″Male VCR或1/8″Swagelok

　　控制阀 :压电式常开

　　内置容积 :＜ 0.71ml（P2000i系列）；＜1ml （D2000i系列）

　　重 量 :≤ 0.68Kg

　　结构材质

　　主体: 316LSS

　　传感器组件 : 316LSS

　　阀构成部件 : 316LSS（D2000i系列）；302SS和316LSS（P2000i系列）

　　“ O”型环:316LSS