001 ， 002 和 003A 型质量流量控制阀门都是常闭的比例控制阀门，可应用在从 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮气量程中。当它与质量流量计结合使用时，就可构成一个闭合回路控制系统 , 该系统允许单独组件配置（流量计和控制阀门）。

　　001 型， 002 型， 003A 型 质量流量控制阀门技术参数

　　流量范围* :从 0-5SCCM 到 0-500SLPM

　　环境和操作温度 : -10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉）

　　最大操作压力: 1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具体请参考表一

　　安装方向 :对位置不敏感

　　额定工作电压 : 4-11VDC （最大 24VDC ）

　　额定工作电流 : 150mADC （最大 275 mADC ）

　　阀线圈电阻 : 80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型）

　　重 量 :请参考表一

　　结构材质

　　主体: 316 不锈钢

　　孔: 316 不锈钢

　　阀组件（接液）: 001 型: 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802

　　002 型: 302SS ， 316SS ， Sandvik1802

　　003A 型: 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802

　　密封材质（” O ”型环和阀座）: 001 型: Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton

　　002 型: Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton

　　003A 型: Buna N ， Viton

　　* 注:上述流量范围反映的是氮气标定下产生的最小流量和最大流量，可采用其它介质的流量范围，当操作参数有疑问时为了保证选型，请咨询厂家。