详细说明
东莞中铭供应SIGMA KOKI (西格玛光机株式会社) 产品有光学调整件,包括X轴平台,Y轴平台,Z轴平台,旋转平台,弧形平台,手动平台,电动平台/光学元件/镀膜产品/自动应用系统/激光系统产品/生物研究用品/光学系统产品等
西格玛精密(压电陶瓷)平台—高速·高刚性型
•SFS-H 系列是在原来的SFS 系列的基础上,提高了承载能力和响应速度而开发的压电陶瓷平台。
•它采用压电陶瓷作为驱动件,可以实现开环控制时的行程为90μm-100μm,理论分辨率为1nm 的微小移动。采用了位移传感器(频率-位移转换方式的小位移传感器),在闭环控制时,实现了10nm 的显示分辨率。
•和FINE 系列控制器一起使用,可以实现优于0.5%的直线性和高速化。SFS-H60X、40X 可以实现往复运动的频率为10-15Hz(全行,闭环控制时)。
•这是一款最适用于需要高速,高精度定位的装置或实验用途的平台。
常用型号:SFS-H40X(CL)SFS-H40Z(CL)NEWSFS-H60X(CL)SFS-H60XY(CL)SFS-H60Z(CL)NEWSFS-H60XYZ(CL)NEW
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