详细说明
东莞中铭专业代理日本SIGMA KOKI (西格玛光机株式会社),SIGMA KOKI (西格玛光机株式会社) 产品有光学调整件,包括X轴平台,Y轴平台,Z轴平台,旋转平台,弧形平台,手动平台,电动平台/光学元件/镀膜产品/自动应用系统/激光系统产品/生物研究用品/光学系统产品等
西格玛精密(压电陶瓷)平台
•SFS 系列平台是我们最新开发的,利用了弹性变形和压电陶瓷驱动件的超精密定位平台。其中,有部分产品内置了位移传感器可以实现闭环控制,可以实现20nm 的分辨率,90μm 行程,320μm 的手动粗调。
•我们采用了无空行程的金属弹性变形机构,以及5-6 倍的压电陶瓷变形放大机构。并采用我公司的超精密加工技术进行生产制造。常用型号:SFS-60X(CL)SFS-60YAW(OP)SFS-60RP(OP)