反渗透超纯水工艺流程

　　水质符合美国 ASTM 标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm 和 0.5MΩ*cm 四级) <预处理－反渗透－ 水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象 <预处理－一级反渗透－加药机（PH 调节）－中间水箱－第二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2 或 0.5μm 精密过滤器－用水对象 <预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI 装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2 或 0.5μm 精密过滤器－用水对象 <预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI 装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2 或 0.5μm 精密过滤器－用水对象（最新工艺）