详细说明
2)洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
局部洁净工程
洁净工作台:等级Class1~100级。
洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
空气洁净度等级标准及规范
经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。目前,该规范在重新修订中。
GBJ73-84规定的洁净度等级
等级每立方米(升)空气中》0.5μm尘粒数每立方米(升)空气中》5μm尘粒数
100《35*100(〈3.5〉
1000《35*1000(〈35〉《250(〈0.25〉
10000《35*10000(〈350〉《2500(〈2.5〉
100000《35*100000(〈3500〉《25000(〈25〉
美国联邦标准FS209E中的洁净等级
等级名称等级限值
0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5μm
容积单位容积单位容积单位容积单位容积单位
国际单位英制
单位mFtmFtmFtmFtmFt
M1.03509.9175.72.1430.90.875100.283//
行业应用
净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,目前在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医药卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用,并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。
目前级别最高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。