无尘室之建筑主体构造

　　一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件:

　　A. 不会因温度变化与振动而发生裂痕；

　　B. 不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；

　　C. 吸湿性小；

　　D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高

　　洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

　　等数ISO空气洁净 大于或等于表中粒径的最大浓度限值（P/m -空气） 洁净等级美国联邦209E

　　0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um

　　ISO Class1 10 2

　　ISO Class2 100 24 10 4

　　ISO Class3 1000 237 102 35 8 1

　　ISO Class4 10000 2370 1020 352 83 10

　　ISO Class5 100000 23700 10200 3520 832 29 100

　　ISO Class7 352000 83200 2930 10000