高精度全自动影像量测系统 VMR1515//VMR-3020/VMR-6555/VMR10080/VMR12072 > 载物台行程: 150X150×150/300×200×150/650×550×150/1000×800×150/1200×7200× 150mm 可供选择。 > Z 轴高精度量测:使用雷射;重现性 0.5μm > 点、线、弧、圆、椭圆、 pitch 量测及特殊形状量测模式 > 五阶段放大倍率 18X-270X或36X-540X或72X-1080X > 2.5× 及 5× 辅助镜解析至 680×~1,375× |