最新的技术一线性马达 高速、低振动、高精度的测量

　　采用线性马达下一代驱动部的开发(现正申请专利): 具有世界最高水平的测量速度以及

　　低振动性，能够进行稳定的高倍率测量。线性马达为非接触驱动，构造简单(无进给丝

　　杆、齿轮箱)，因此不会产生振动，可以长期稳定运行。

　　·大幅度提高了生产效率的高速测量: 粗糙度测量最大3mm/s、波纹度测量最大20mm/

　　s、移动速度60mm/s取得了前所未有的惊人速度。可自动进行从利用演示、回放功能

　　的测量到利用数据粘贴制作检查成绩书等一系列的作业，测量效率提高了5~10倍(与本

　　公司旧机型相比)。

　　·节省空间设计: 采用了令人耳一新的全新设计，占地面积削减了约25%(与本公司旧机

　　型相比)。设置恒温室等时，有降低费用的效果。

　　·装载了新开发的高性能小型传感器(粗糙度) : 装载了新开发的传感器，其设计小巧，适

　　用于高倍率、大范围的测量。外径为14mm，测量范围围达1000mm,测量倍率为50万倍。

　　·精度更上了一层楼:可以测量以前不能测量的工件(轮廓): 测量精度2.5μm(测量范围

　　5mm)足以用来测量模具等精密零部件。测量精度大幅度提高，可以测量以前用高级机

　　型才能测量的工件，大大地拓宽了其用途。

　　·对通用零部件的轮廓度评价简便(轮廓) : 对以往用投影机、工具显微镜进行评价的零部

　　件轮廓度可以在短时间内得出精确的数据。而且测量结果可以直接作为检查成绩书使用。

　　东京精密公司独特的先进功能(粗糙度/轮廓):

　　·自动要素判定功能(AI功能):可自动判定点、直线、圆等要素，不需操作者指定

　　·尺寸显示功能:可在测量图上显示参数、几何偏差等实测值。

　　·自动凸面加工功能:用于自动检测出工件的最大值或最小值。

　　2900DX表面粗糙度?轮廓廓形状测量机

　　最新的技术一线性马达 高速、低振动、高精度的测量

　　型号 SURFCOM 2900DX3/SD3

　　SURFCOM 1500DX/SD3 CONTOURECORD 2700DX3/SD3

　　表面粗糙度评价 轮廓形状评价

　　量程 Z轴 1000μm 50mm

　　X轴 100mm 100mm

　　精度 Z轴指示精度（纵方向） — ±（0.8+|2H|/100）μm

　　测量分辨率 1000μm/0.01μm~6.4μm/0.0001μm 0.025μm/50mm

　　X轴指示精度（横方向） — ±（1+L/100）μm L:测量长度（mm）

　　测量分辨率 100mm/0.04μm或32.000点 0.016μ

　　直线度 （0.05+1.0L/1000）μm L=测量长度（mm） 1μm/100mm

　　传感器方法 Z轴（纵方向） 差动变压器 光栅尺

　　X轴（横方向） 光栅尺 光栅尺

　　速度 立柱上下移动速度（Z轴） 3—10mm/s

　　测量速度（X轴） （粗糙度）0.03—3mm/s;（波纹度）0.03—20mm/s 0.03-20mm/s

　　移动速度（X轴） 0.03—60mm/s

　　传感器 测针 交换式 交换式

　　测量力 0.75mN 30mN以下

　　测针半径 2μmR, 60℃圆锥 25μmR, 24℃圆锥

　　测针材质 金刚石 超硬金钢石

　　测量方向 向右 左右两方向

　　测量姿势 — 上下两方向，最大跟踪角度77℃

　　要素 电压、功率 单项AC220V±10% 50/60Hz、670VA

　　尺寸（WXDXH） DX3-12:1250（W）X850（D）X1500（H）mm、约225Kg、SD3-12:1500（W）X600（D）X1500（H）mm、约125Kg