高精度輪郭検出器にレーザ光回析スケールを搭載

　　指示精度:±（０．８＋|２Ｈ|/１００）μｍ、分解能:０．０２５μｍ（全系列）实现。

　　衡量和评价是可能的精度高，轮廓精密部件。

　　采用线性电机（专利正在申请中）

　　速度和低振动测量能够提供世界级的、高倍率可以衡量更加稳定。

　　高速测量，显著提高生产力

　　轮廓测量最大20ｍｍ／s、速度最大60ｍｍ／ｓ

　　测量效率与旧机型提高了10倍

　　粗糙度传感器

　　采用最新的粗糙度传感器E-DT-SS01A

　　量程大，高达1000μm测量高倍率（可达50万倍）

　　分辨率高大0.1NM

　　采用干涉光栅尺的轮廓度传感器E-DT-CH08A

　　量程大（50MM），分辨率高大0.025μm

　　指示精度±（0.8+l2Hl/100）μm

　　增加手动旋转功能X轴增加手动扭转，提供了更多的测针定位和移动定位

　　自动停止功能测针在垂直方向接触物体会自动停止并归零，而不必担心测针过载

　　直接加配倾斜装置（选配）现场可直接加配倾斜装置，提高了产品的测量范围

　　针对粗糙度仪可以倾斜5度

　　轮廓度以偶可以倾斜15度

　　型号 SURFCOM 2700DX3/SD3

　　-12 -13 -14 -15 -22 -23 -24 25

　　测量范围 Z轴(纵方向) 50mm

　　X轴(横方向) 100mm 200mm

　　精度 Z轴指示精度（纵方向） ±（0.8+│2H│/100）μm（H:测量高度 mm）

　　测定分辨率 只有0.025μm/全套

　　X轴指示精度(横方向) ±（1.0+1L/100）μm（L:测量长度 mm）

　　测定分辨率 0.016μm

　　直线度精度 1μm/100mm 2μm/200mm

　　测量方式 X轴(横方向) 线性马达

　　Z轴(纵方向) 规模激光衍射

　　速度 立柱上下移动速度（Z轴） 3-10mm/s

　　速度（X轴） 测量速度: 0.03-20mm/s; 移动速度: 最大60mm/s

　　检出器 测针, 测力 交換式 30mN以下 、与收缩功能

　　测针半径(测针材质) 25μmR（24°超硬合金）标准配件

　　测定方向,姿势 前?后方向 、上?下 方向 、最大跟踪角:77°

　　测量范围 驱动部 100mm 200mm

　　上下 226mm 426mm 626mm 226mm 426mm 626mm

　　操作台 大小 600*320mm 1000*450mm 600*320mm 1000*450mm

　　允许装载质量 37kg 28kg 93kg 84kg 31kg 22kg 87kg 78kg

　　要素 尺寸 长 1250mm 1650mm 1250mm 1650mm

　　宽 800mm 900mm 800mm 900mm

　　高 1480mm 1680mm 1880mm 1480mm 1680mm 1880mm

　　重量 225kg 235kg 420kg 430kg 230kg 240kg 425kg 435kg

　　电压 单相AC100V±10% 50-60HZ/670VA