高可靠性和精度的流量控制器

　　快速的响应时间

　　金属密封.

　　压电控制阀.

　　316L不锈钢材质.

　　5 ccm-100 slm流量

　　技术规格:

　　ModelSEC-4400SEC-4500SEC-4550SEC-4600

　　Standard Flow Range(N2 Eq.)5 sccm ~ 8 slm10 ~ 30 slm31 ~ 50 slm51 ~ 100 slm

　　Wetted MaterialsM (metal) -Type: SUS-316L-R (viton) type

　　Valve Piezo Valve(Normal Close or Normal Open)

　　Flow Control Range2 ~ 100% F.S.

　　Accuracy± 1% F.S.

　　Response<1.0sec. (500ms typical)

　　Linearity± 0.5% F.S.

　　Repeatability± 0.2% F.S.

　　Operating Pressure14 ~ 42 psi21 ~ 42 psi

　　Leak IntegrityM-Type: 5x10 -10 Pa•m ³/s(He) or less

　　Operating Temperature5 ~ 50 °C (Accuracy guaranteed 15 ~ 35 °C)

　　Flow Rate Setting Signal0.1 ~ 5VDC

　　Flow Rate Output Signal0 ~ 5VDC

　　Power Supply± 15VDC ± 5% 60mA

　　Standard Fitting1/4” VCR, 1/4” Swagelok3/8”VCR,3/8”Swagelok