详细说明
1控制模式:手动控制模式自动控制模式；
2 清洗对象:石英环
设备形式: 室内放置型；
4 尺寸(参考，含地脚):3500mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+1000mm(H)；
5机台总体结构暂定分为两部分，机械运行机构装置与机台上方（可拆卸）；
6工艺说明:手动方式实现放件、取件，机械臂自动方式实现槽体间传送件；
7工艺参数（温度，时间，DIW水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定；
8机械臂几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳；
9 为确保清洗工艺和机械手的使用寿命，机械手由多种工业材料和特殊的表面处理构成。