ITO靶材产品介绍:ITO粉末和TIO靶材为氧化铟和氧化锡的混合物，是一种新型的特殊功能氧化物陶瓷材料，金属铟的深加工高新技术产品，ITO薄膜的重要原料。ITO薄膜具有对可见光透明和导电的良好特性，广泛应用于IT行业液晶显示、通讯显示、建筑行业幕墙玻璃和航空航天飞机、豪华汽车上的防雾玻璃领域。ITO靶材主要质量指标:化学成份:In2O3:SnO2=90:10(Wt%)纯度:≥99.99%相对密度:99%密度均匀性偏差:≤±0.3%相结构:单一立方In2O3相失氧率:≤3%单片尺寸:250mm×200mm300mm×300mm350mm×320mm厚度可按用户任意要求制造包装:采用塑料薄膜真空封装ITO粉末:ITO粉末主要质量指标:化学化学成份:In2O3:SnO2=90:10(Wt%)纯度:≥99.99%杂质:Fe＜10ppmPb＜10ppmAl＜10ppmCu＜5ppmZn＜5ppmSi＜20ppmCd＜5ppmCo＜5ppmNi＜5ppm粉末的粒径:0.2-5(um)粉末的比表面:1～20(m2/g)粉末的理论密度:7.149(g/cm3)粉末熔点:1900℃包装:采用塑料瓶装后再塑料薄膜真空封装

　　AZO靶材主要技术指标:*化学成分:98wt.%ZnO,2wt.%Al2O3或按用户需要提供；*纯度:3N或4N；*相对密度:≥99.5%；实测密度≥5.60g/cm3*靶材电阻率:5×10—4Ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)；*膜电阻率:采用射频磁控溅射，基片加热温度220℃，在最佳工艺条件下:2.17×10—4Ω·cm；基片加热温度450℃，在最佳工艺条件下:9.06×10—5Ω·cm*目前能提供的最大尺寸:400mm×200mm×9mm。