供应深圳半导体硅片 晶片 石英管超声波清洗设备

名称:供应深圳半导体硅片 晶片 石英管超声波清洗设备

供应商:深圳市超艺达科技有限公司

价格:460000.00元/台

最小起订量:1/台

地址:深圳市龙岗区平湖工业区

手机:13632608846

联系人:张志勇 (请说在中科商务网上看到)

产品编号:37459974

更新时间:2012-10-12

发布者IP:123.126.50.182

详细说明

  DW-18040-13B清洗机采用最新流行环保水基清洗工艺 .该设计先进、合理,充分考虑了环保和节能的要求;并采用全封闭式结构,运行部件设计充分考虑防止污染;清洗机框架和烘干炉内均采用正压送风形式, 保持运行时的风流始终外溢;同时, 下料传送采用滚轮形式,带外罩的链条侧驱动输送滚轮,从而把工作区和驱动输送区隔离开,确保润滑油脂及运动磨损不会对清洗的产品产生二次污染;通过以上措施能有效保证工作室长期处于洁净状态,从而保证产品的洁净要求;三套独立的机械运送机构进行工作.本清洗机非常适合于LCD、TFT等基片的清洗和干燥,完全能适合千级以上的环境下使用;在线加热系统应用于慢提拉工艺,能有效防止水痕产生。

  工作机理:

  欲清洗基片放入料框内专用固定夹内,由人工将料框放上入料口,等机械手自动将料框送入清洗机本体,上下提升机构依照PLC指定的程序将料框搬送到相应高度位置;完成对基片的清洗、喷淋、漂洗、慢提拉脱水和热风干燥后、送至清洗机出口,运送到卸料台出料。三套机械手由马达横向驱动,齿轮齿条导向;上下提升由马达驱动,直线导轴导向;慢提拉提升机构由变频马达驱动,直线导轴导向;采用触摸屏操作系统,有手动和自动切换开关及有关操作按钮,能对整个运行过程实行控制。