EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是最受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

　　机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

　　应用

　　· 半导体制程

　　· 真空蒸馏

　　· 真空包装

　　· 钢脱气

　　· 薄膜覆层

　　· 真空冶金

　　· 低密度风洞

　　· 空间模拟

　　· 真空浸渍

　　· 油干燥和脱气

　　· 制药冷冻干燥

　　· CO2 激光

　　功能和优势

　　· 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

　　· 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

　　· EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

　　o 安静的无振动运行。

　　o 牢靠且防腐蚀。

　　o 先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

　　· 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

　　· 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。

　　· 轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

　　· 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

　　技术数据