多晶硅烧结炉

　　多晶硅烧结炉应用领域:用于多晶硅坩埚烧结、烘烤等工业领域，每炉可同时容纳1~6工位坩埚烧结处理。该设备也可用于模具、铸件等金属件的淬火、退火等热处理。

　　特点:多层保温结构；侧面炉壳和炉门采用双层隔热结构，外壳温度低，绝热性好。

　　加热方式:加热元件合理布置于炉膛两侧、后墙、炉门、台车工作面底部，共5面加热提高炉温均匀性。

　　加热元件:优质合金丝制作成螺旋状或波纹状，缠绕在陶瓷管或瓷钉组上，有效保证其热辐射性和寿命。

　　台车工作面上铺设碳化硅炉板，保护底部加热元件。

　　台车采用一体化路轨或无轨式（根据用户要求）。

　　炉膛两侧配置冷却风机，顶部开排气通道，有效地提高冷却速度。

　　温差:炉膛内部温差在5℃以内。

　　控温精度:±1℃

　　用户可根据热处理工艺任意编辑曲线，操作简单。