ESOT90系列拉晶炉主要用于半导体材料 高纯材料 超导材料的制备.如硅材料提纯.

　　多晶硅定向凝固炉（简称结晶炉）

　　用于

　　太阳能级硅锭制造，也可以用于其他半导体材料提纯。

　　特点

　　控制精度高，结晶速度自由调节

　　采用感应熔炼法，增加溶液搅拌，熔炼速度快

　　定向凝固保温采用特制加热电源

　　具有三相电流平衡，维护费用低

　　采用恒温度控制仪，可设置148段加热工艺曲线

　　炉室采用三室真空炉体，真空度高，抽气速度快

　　主要技术参数

　　熔炼容量:10-300KG

　　电源功率:50-400KW

　　升温速率:40℃/Min

　　炉温均匀性:±5℃

　　极限真空度:6.67×10-2Pa

　　压升率: 0.01PaL/S

　　额定充气压力:0.05Mpa

　　铸锭方式:下降定向凝固

　　伺服控制范围:0.01mm-6mm/Min

　　定向凝固速率:0.03mm-0.5mm/Min

　　坩埚上升速度:80-100 mm/Min