小型等离子清洗机简介:

　　广泛应用于LED、LCD、LCM、手机天钱、手提电脑按键及外壳, CMOS摄像头及数码相机零组件, Si,InP,GaAs晶圆、晶片、光纤、电路板、X-ray镜片、UV/IR镜片、光盘读写头零组件、光学元件、 精密模具、精密仪器以及包装、印刷、纺织、塑料制品、生物材料、医疗器皿,半导体,太阳能光伏等行业.

　　小型等离子清洗机（电浆清洗机）

　　1.主要用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。

　　2.特点:成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。

　　3.控制方式:手动或自动控制模式,一键完成整个清洗工艺。

　　4.电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。

　　5.射频电源手动匹配（自主研发的全固态晶体管输出型）

　　6.浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。

　　7.清洗完成有提示音。

　　8.反射功率过大报警。

　　9.工艺气体耗尽报警。

　　10.泵热过载报警。

　　11.反应仓泄漏报警。

　　12.电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。

　　13.反应仓位矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。

　　14.真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。

　　15.真空泵可选配液位低报警装置。