金属膜厚测量仪只要使用WIN FTM软件，所有物理上可以测量的镀层组合都能够解决。当设定测量程式（Def.MA)及自由种类选择时，它能提供非常大的弹性。它可以在一个多镀层系统内测量多至24种元素，这是非常独特的。简单的说:更多镀层！更多元素！更大灵敏度！

　　金属膜厚测量仪简单介绍

　　可实现对测定样品的高分辨、实时、彩色图 像观测。

　　自由距离测量DIM:更灵活地测量不规则样品（凹凸）。

　　一体机工作站式设计，简化设备安装， 减少占用空间。

　　技术参数:元素范围: Ti22 – U92 同时分析层数和元素定量:5层(4层+基体)；

　　最多同时15种元素定量

　　X射线激发: 100瓦(50kV-2.0mA)微焦点钨靶X射线管（可选钼靶X射线管）

　　X射线检测: 高分辨封气 (Xe)正比计数器，灵敏度高，可最多装备3种二次滤光片

　　准直器: 单准直器或多准直器系统，准直器系统最多可安装4种规格的准直器，备有各种规 格准直器（0.015mm-0.5mm)圆形或矩形供客户选用