| 扫描白光干涉显微仪 |
| 产品特点及用途 |
| 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含: |
| < 晶体（Wafer） < 光盘/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk） < 平面电组件（MEMS Components） < 平面液晶显示器（LCD） < 高密度线路印刷电路板（HDI PCB） < IC封装（IC Package） 以上其它材料分析与组件微表面研究 |
| 专业级的3D图形处理与分析软件（Post Topo） |
| < 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析 < 提供自动表面平整化处理功能 < 提供高阶标准片的软件自校功能 < 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式 < 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度 （waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据 < 区域分析方式提供图形分析与统计分析。 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能。 < 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出 |