详细说明
应用领域
RGDL系列真空气氛管式炉广泛用于高、中、低温CVD工艺，例如:碳纳米管的研制，试验用碳纤维碳化、晶体硅板镀膜、纳米氧化锌结构可控生长等等，也可用于金属材料的扩散焊接及真空或气氛保护下的热处理。
主要特点
采用精炼石英管或高纯高于管作为炉膛，可拆卸的密封方式，具有良好的洁净度和真空度，耐火保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、低能耗。加热元件采用优质硅钼棒、硅碳棒或进口电阻丝；温度控制系统采用原装进口智能多段程序温度控制仪控制，具有良好的稳定性、均匀性。
技术指标
| 设备型号 | RGDL(D) 2/80/44 | RGDL(Z) 1/60/30 | RGDL(G) 3/60/60 | RGDL(D) 1/50/70 | RGDL(Z) 2/30/60 | RGDL(G) 1/50/80 |
| 温区个数 | 2 | 1 | 3 | 1 | 2 | 1 |
| 最高温度 | 1100℃ | 1400℃ | 1650℃ | 1200℃ | 1400℃ | 1650℃ |
| 加热区长度 | 440mm | 300 mm | 600 mm | 500 mm | 600 mm | 500 mm |
| 炉管尺寸及材料 | Φ80石英管 | Φ60刚玉管 | Φ60刚玉管 | Φ70石英管 | Φ60高纯刚玉管 | Φ80高纯刚玉管 |
| 装机功率 | 5kw | 8kw | 18kw | 8kw | 10kw | 12kw |
| 备注:RGDL系列管式炉全部可以按照客户要求通入各种惰性、还原性、反应性气体，通过浮子流量计或质量流量计控制气体通入量。同时还可以通过单机机械泵或真空机组预抽真空，系统具备冷态极限真空6.67×10﹣² Pa 。 |