详细说明
硅片清洗加工设备,可广泛用于IC生产及半导体元器件生产中晶片的湿法化学工艺。型号:CSE系列,该设备可有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、 塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。 可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。另外还供应:石英(炉)管清洗机,晶片清洗机,晶/硅片腐蚀机,显影机,超声波清洗机,单硅片清洗机,硅片甩干机,单/多晶(硅)片清洗机,工作台,周转车,氮气存储保护柜,纯水加热器(在线式),边缘SiO2剥减机,生产器具清洗设备、RCA湿法清洗机,磷硅玻璃清洗设备,液晶湿制成设备