详细说明
广东华南特种气体研究所有限公司是华南地区一家知名气体企业，有一套完整的生产，销售，配送服务体系。目前经营的超高纯半导体惰性气体有氩气（Ar），氮气（N2），氦气（He）。
指标如下:
| 项目 | Ar≥99。9999% | N2≥99。9999% | He≥99。9999% |
| H2（ppm）≤ | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| O2（ppm）≤ | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| N2（ppm）≤ | 0.5 | - | 0.5 |
| H2O（ppm）≤ | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| CO+CO2（ppm）≤ | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 总烃（ppm）≤ | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 颗粒 | 供需双方商定 | 供需双方商定 | 供需双方商定 |
封令泉