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名称：半导体显影清洗机
供应商：苏州华林科纳半导体设备技术有限公司
价格：面议
最小起订量：1/台
地址：跨春工业坊5E
电话：62819188
联系人：华林 （请说在中科商务网上看到）
产品编号：15106512
更新时间：2021-04-18
发布者IP：121.228.137.68
1.概述:本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影，该产品技术先进、一致性强，适用于规模生产。
2．整台设备材料均为进口。
3．本设备为双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两排可独立同时完成相应的工序。
4．本设备除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。
5．每槽装片能力:50片/批（2花篮，25片/花篮）。
6．工作区洁净度:100级。
7．槽间工艺转换时间:Tmax≤3.5S
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