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名称：刻蚀清洗机
供应商：苏州华林科纳半导体设备技术有限公司
价格：面议
最小起订量：1/台
地址：跨春工业坊5E
电话：62819188
联系人：华林 （请说在中科商务网上看到）
产品编号：15106271
更新时间：2021-01-16
发布者IP：121.228.137.68
1.工艺流程；上料→喷淋→刻蚀→漂洗→刻蚀→喷淋→下料
2.本设备的腐蚀槽和清洗槽间的转换由进口SEW驱动机械手，以迅速实现两槽之间的硅片转换。
3.腐蚀槽配有美国聚四氟乙烯加热器、温度、液位传感器。
4.清洗槽配有溢流装置，和N2鼓泡装置
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