设备概述:

　　硅片甩干机是由该系列机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。主要用于硅圆片、掩模版、太阳能电池等类似材料的冲洗甩干。

　　1•甩干机机型

　　双工作腔结构，最大加工片子直径φ150mm。S为双片盒结构.

　　2•系统构成

　　整机采用双工位（或单工位）层叠、积本式组合结构，每个工位可独立运行互不干扰。能实现包括旋转冲洗、氮气烘干、电阻率监控、防静电控制、腔体干燥、故障显示报警、系统洁净化处理在内的全自动工艺处理过程。

　　3•结构原理与特点

　　（1）洁净化处理技术⑵大功率无刷电机驱动

　　⑶清洗工作腔体⑷转轴氮气密封技术

　　⑸去离子水控制⑹防静电控制

　　⑺防震、隔震技术⑻测速、计数控制技术

　　⑼制动控制技术⑽系统控制技术

　　⑾工艺处理软件⑿颗粒控制性能

　　⒀安全及防护处理⒁门位置状态监控与互锁

　　⒂生产技术