PR前清洗设备CSE-L-M6

名称:PR前清洗设备CSE-L-M6

供应商:苏州华林科纳半导体设备技术有限公司

价格:面议

最小起订量:1/台

地址:跨春工业坊5E

电话:62819188

联系人:华林 (请说在中科商务网上看到)

产品编号:15094350

更新时间:2010-07-30

发布者IP:121.228.137.68

详细说明

  用于液晶工艺中对基板蚀刻。

  规格尺寸:长15000mm宽1780mm高1600mm

  主要材质:壳体:德国进口PP板,

  产品特点:

  1.全程工艺采用PLC控制,触摸屏操作。设备槽体实现了腐蚀或后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗祛除功能。它由安装在槽体底部的快排阀、DI注入孔(包括氮气鼓泡)及顶部左右两侧的DI喷嘴实现槽体的快速注入与排放。

  2.设备快排冲洗槽(QDR)的工作过程由独立K200型专用控制器保证。它包括工艺时间、冲洗次数设置、工作完成提示以及过程中的故障报警、状态提示等功能。

  备注:整台结构设计合理,外型美观,性能稳定可靠。广泛应用于液晶行业。