| Prep24 标准配置 |
| 操作简便的清洗机 |
| *反应舱 Ø 26.7cm x 42.0 cm, 水平 (24升) |
| *不锈钢反应舱体 |
| *40KHz 射频发生器 |
| *高效针孔电极 |
| *数字计时器可自动设定操作程序 |
| *皮拉尼真空泵可设定重复操作 |
| *双气体配置, 铜气体管、气体流量计、 针阀 |
| *使用气体流量计和针阀控制气体 |
| *自动计时器控制等离子处理过程 |
| *半自动控制 |
| *功率可调0~300 W |
| *自动阻抗匹配 |
| *自由设置参数:处理时间、功率、气体、压力 |
| *安全保护功能:真空触发、舱门锁 |
| *电磁阀保护,回流油雾不能进入反应舱 |
| *规格:60 cm(W)×65 cm(H)× 450 cm(D) |
| *电源 230V/50Hz; 110V/60Hz |
| 莱宝D8B 2级真空泵 8m3/h, 3x10-2 mbar 普通油 |
| 油雾过滤器 |
| Au调节阀 (采用氧气和普通真空油时) |