Prep24 标准配置 |
操作简便的清洗机 |
*反应舱 Ø 26.7cm x 42.0 cm, 水平 (24升) |
*不锈钢反应舱体 |
*40KHz 射频发生器 |
*高效针孔电极 |
*数字计时器可自动设定操作程序 |
*皮拉尼真空泵可设定重复操作 |
*双气体配置, 铜气体管、气体流量计、 针阀 |
*使用气体流量计和针阀控制气体 |
*自动计时器控制等离子处理过程 |
*半自动控制 |
*功率可调0~300 W |
*自动阻抗匹配 |
*自由设置参数:处理时间、功率、气体、压力 |
*安全保护功能:真空触发、舱门锁 |
*电磁阀保护,回流油雾不能进入反应舱 |
*规格:60 cm(W)×65 cm(H)× 450 cm(D) |
*电源 230V/50Hz; 110V/60Hz |
莱宝D8B 2级真空泵 8m3/h, 3x10-2 mbar 普通油 |
油雾过滤器 |
Au调节阀 (采用氧气和普通真空油时) |