详细说明
（典型客户:富士写真光机（深圳/天津）有限公司）
一、产品技术参数
| 型号 | TM80 | TM100 | TM150 |
| 内部容积 | 80L | 100L | 125L |
| 内部尺寸 | 40×40×50 | 45×45×50 | 50×50×50 |
| 内尺寸表示为:D×W×H 深×宽×高 单位:cm |
| 功率(KW) | 3.0 | 3.5 | 4.0 |
| 系 统 | PID智能调节或可编程PID自动调节 |
| 温度范围 | RT+10℃～200℃ |
| 温度偏差 | ±1.0℃ |
| 波 动 度 | ±0.5℃ |
| 洁 净 度 | 100级 |
| 内体材料 | SU304不锈钢板 |
| 外箱材料 | SU304不锈钢板或防锈处理冷轧钢板（喷塑） |
| 保温材料 | 超细玻璃棉 |
| 加 热 器 | 镍铬合金电热式加热器 |
| 循环系统 | 轴流风机 |
| 控制系统 | 高精度微电脑型LED显示温度控制器或LCD显示温度控制器 |
| 标准配置 | 样品架2层 |
| 可选配置 | 测试孔（￠25m位于门上)、增加的样品架 |
二、产品特点:
1、内、外箱材质采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢，外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE)；
2、全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生PARTICLE；
3、 耐高温，能有效过滤微尘而达到洁净等级class100＃；
4、叠层组合式，减少场地占用面积，效率高。
三、适用范围:
应用:LCD、CMOS、IC制程烘烤。