详细说明
概述
EXT75DX 是一种是混合轴承复合分子泵，它将经实践证明的陶瓷机械下轴承、干式永磁上轴承和 Holweck 分级技术与带来额外便利性的板上 24 V 控制器结合在了一起，该控制器可实现与 TAG 和 TIC 控制器兼容的并行和串行通信。 它随附 aDN40NW、ISO63、DN63CF 或 ISO100 入口法兰，N2 抽速最高可达 66ls-1。 基本的泵系统可能需要 EXT75DX 泵、TAG 或 TIC 控制器，或者空气或水冷却附件以及合适的前级泵。
功能和优势
· 通过板上智能控制可以降低运行功耗，减少运行成本。此外，这种控制器还增加了电子制动、智能冷却风扇和自动排气选件。
· 与 Edwards TIC 涡轮与仪表控制器兼容意味着您可以添加一个或多个真空计而不需要额外的显示控制器。
· 并行或串行接口。
o 并行模式允许使用传统控制信号界面。
o 串行模式提供 RS232，可以全面控制泵状态，并连续监控:
§ 排气阀控制设置
§ 运行速度指示
§ 待机运行速度
§ 可编程功率设置
§ 功耗
§ 泵/控制器温度
· 标配的入口筛网。
· 用于清洁泵、减少振动和最大程度降低磨损的永磁上轴承。
· 手动排气阀（电磁阀操作的型号可以用于全自动排气）。
· Holweck 分级实现高吞吐量和高前级压力容差。
· 气体清洗口提供制程气体稀释以保护电机和下轴承。
技术数据
| 入口法兰 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K |
| 抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100) | |
| N2 | 61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1) |
| He | 57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1) |
| H2 | 53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1) |
| 压缩比 | |
| N2 | >1 × 1011 |
| He | 1 x 106 |
| H2 | 5 x 104 |
| 极限压力 (mbar) | |
| 带有 RV 前级泵 ISO/CF | <5 x 10-9 / 5 x 10-10 |
| 带有隔膜前级泵 ISO/CF | <5 x 10-8 / 5 x 10-9 |
| 出口法兰 | DN16NW |
| 推荐前级泵* | RV5/nXDS5i |
| 排气口 | 1/8 英寸 BSP |
| 吹扫口 | 1/8 英寸 BSP |
| 最大连续进气口压力（轻气体泵送）† | |
| 水冷却（15 °C 水，40 °C 环境温度） | 2 × 10-2 mbar |
| 强制空气冷却，35°C 环境温度 | 1 × 10-2 mbar |
| 泵旋转速度 | |
| 标称旋转速度 | 90000 rpm |
| 待机旋转速度 | 在 49500 至 90000 rpm 之间变化 （63000 rpm 默认） |
| 可编程功率限制设置 | 可在 50 至 120 W 之间变化（默认为 80 W） |
| 到 90% 速度的启动时间 | 110 s ‡ |
| 模拟输出 | 转速； 功耗；泵温度；控制器温度 |
| 冷却方法# | 强制空气/水 |
| 强制空气冷却的环境空气温度 | 5 - 35 °C |
| 最小冷却水流速（15 °C 的水） | 15 l h-1 |
| 水温范围 | 10 - 20 °C |
| 最高入口法兰温度 | 100 °C |
| 操作姿态 | 垂直且竖直，直到 水平 |
| 1 米处的噪音级别 | <50 dB(A) |
| 泵可以承受的最大磁场 | 5 mT |
| 推荐控制器 | TIC100 分子泵和仪器控制器 |
| 静止电功率 | 10 W |