详细说明
概述
nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。nEXT 泵将我们的成熟轴承技术(油润滑的陶瓷下方轴承和干燥的永磁性上方轴承)以及采用新分子分级技术的改进转子设计结合在一起,以提供改进的抽速和压缩比,同时提供真正的用户可维护性。 它们采用 24V 到 48V 的直流无传感器电机,具备内置的驱动,完全兼容我们的 TAG 和 TIC 控制器系列。 该分子泵有 80W 和 160W 两种最大预设功率可选。前者适用于我们的 100W TIC 控制器,也是泵送氩气时的建议选择,但该功率下达到完全运行速度的加速时间比较长。
基本的泵系统可能需要 nEXT300D 泵、TAG 或 TIC 控制器,空气或水冷却附件或合适的前级泵。
特性与优势
· 最新的转子设计提高了性能,可以实现卓越的抽速和压缩比
· 最终用户可以在极短的时间内完成彻底的维修,无需复杂的工具或大卸... 您就可以完成!
· 设计紧凑,性能卓越,可以实现高效系统化
· 与 Edwards TIC 涡轮和仪器控制器兼容意味着您可以添加多达 3 个真空计而不需要额外的真空计控制器
· 符合 RoHS 并获得 CSA/UL 认可
技术数据
| 入口法兰 | DN100ISO-K,DN100CF |
| 出口法兰 | DN25NW |
| 抽速 | |
| N2 | 300 ls-1 |
| He | 340 ls-1 |
| H2 | 280 ls-1 |
| 压缩比 | |
| N2 | >1 × 1011 |
| He | 1 x 106 |
| H2 | 5 x 104 |
| 针对 RV 前级泵 ISO/CF 的极限压力 | <6 x 10-8/<5 x 10-10 mbar |
| 推荐前级泵* | RV12/nXDS10i |
| 排气口 | 1/8 英寸 BSP 母头 |
| 吹扫口 | 1/8 英寸 BSP 母头 |
| 最大连续入口流量(氮气)† | |
| 水冷却(15°C 的水,40°C 的环境温度) | 95 sccm |
| 强制空气冷却,35°C 环境温度 | 115 sccm |
| 泵旋转速度 | |
| 标称旋转速度 | 60000 rpm |
| 待机旋转速度 | 可在 33000 至 60000 rpm 之间变化(默认为 42000 rpm) |
| 可编程功率限制设置 | 可在 50 至 200W 之间变化(默认为 160W) |
| 到 90% 速度的启动时间 | 145s‡ |
| 模拟输出 | 泵旋转速度; 功耗;泵温度;控制器温度 |
| 冷却方法# | 强制空气/水 |
| 强制空气冷却的环境空气温度 | 5 - 35°C |
| 最小冷却水流速(15°C 的水) | 15 l h-1 |
| 水温范围 | 10 - 20°C |
| 最高入口法兰温度 | 80°C |
| 操作姿态 | 垂直且竖直,直到 水平 +/- 2° |
| 1 米处的噪音级别 | <45 dB(A) |
| 泵可以承受的最大磁场 | 5 mT |
| 推荐控制器 | TIC200 分子泵和仪器控制器 |
| 静止电功率 | 通常为 20W |
* 根据应用可使用较小的前级泵。 也可使用极限压力小于 5 mbar 的适用隔膜泵,例如 XDD1。
† 在此入口压力之上,旋转速度会降至低于标称速度。
‡ 功率限制设置为 160 W。
# 空气和水冷却附件须单独订购