美国VARIAN公司VS氦质谱检漏仪[详细内容]

　　美国VARIAN公司VS氦质谱检漏仪

　　VS系列氦质谱检漏仪

　　特性及优点

　　·多种语言和计量单位选择，可选中文界面

　　·135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术，金属密封结构

　　·新的电子线路及信号处理设计

　　·最小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程

　　·快速清氦和快速响应

　　·测试口耐压高，可实现大漏检漏

　　技术规格

　　性能指标

　　PR02

　　MR15&MD30

　　性能

　　前级泵内置式

　　前级泵外置式及小车

　　前级泵 油式机械泵

　　DS-42 2 m3/hr (34 l/m)

　　DS-302 14 m3/hr (232 l/m)

　　涡卷式干泵

　　N/A

　　TS-620 30 m3/hr (500 l/m)

　　最小可检漏率在1000ppm的氦气背景下

　　5×10-12 atm cc/sec；

　　5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium

　　测试口最高耐压

　　16 mbar，12 Torr，1600 Pa

　　测试口处对氦气抽速

　　1.8 l/s

　　校准程序

　　自动或手动（内置或外置）

　　氦本底清零

　　按键清零，并具有零点追踪功能

　　操作界面

　　高清晰彩显，TFT触摸屏

　　语言选择

　　中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语

　　循环检测

　　可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点

　　响应时间

　　＜1.0秒

　　设定点

　　标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点

　　通讯协议

　　RS-232 通讯借口，9600波特率（9芯窜口）

　　执行标准

　　UL，CE，CSA