| Prep2-FEMTO等离子清洗机/刻蚀机 * 真空舱体 φ100mm × L270 mm 水平 (2 升)* 不锈钢舱体* 40KHz 射频发生器* 高效针孔电极* 铜气体管、气体流量计、针阀* 使用气体流量计和针阀控制气体* 自动计时器控制等离子处理过程* 半自动控制* 功率可调 0-100W* 自动阻抗匹配* 自由设置参数:处理时间、功率、气体* 安全保护功能:真空触发、舱门锁* 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体* 规格:W345 mm×H220 mm× D420 mm* 电源220V/50Hz*莱宝Leybold Type S1.5(1.5m3/h) 选装件 *13.56 MHz 射频发生器 *2.45 GHz 射频发生器 *硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体 | |