用途和特点

　　气体质量流量控制器（MassFlowController）用于对气体的质量流量进行精密测量和

　　控制。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。

　　东莞德欣致力于对产品性能和生产工艺的不断改进，DSN质量流量控制器具有精度高、重

　　复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等（可以使用在高压及真空系统）

　　特点。操作使用方便，可任意位置安装，配合DSN2000流量显示仪或其他流量控制器显示仪

　　使用，也可直接同计算机实现RS-232连接，非常方便的实现自动控制。它也可以作为气体质

　　量流量计使用。配合DSN2000流量显示仪对气体的瞬时流量和累积流量进行精确测量和控制。

　　主要技术指标:

　　型号DSN

　　序号项目内容

　　DSN—①

　　１流量范围0～5，10，20，30，50，100，200，300，500SCCM；

　　0～1，2，3，5，10,20,30SLM;

　　2准确度:±1%FS

　　3线性:±(0.5～1)%FS

　　4重复精度:±0.2%FS

　　5响应时间(sec):＜1

　　6工作压差范围（MPa）0.05～0.3

　　7耐压（MPa）3，10

　　8工作环境温度（℃）5～45

　　9输入输出信号电压0～+5.00V

　　10电源+15V500mA，－15V500mA（输入阻抗大于100K，

　　输出电流不大于3mA）

　　11外形尺寸（mm）130*28*121

　　12重量约（kg）1.0