详细说明
产品介绍
超声波流量计仪是一种用于检测半导体制造装置内，涂布药液的流量管理的一种测量仪器，此种仪器的特性是配管两端装有超声波探头，相互进行收发信号，测定各自传播时间；顺流的超声波会很快到达，相反逆向的超声波则会较晚达到，根据传播时间算出流速，并通过流速算出流量。
产品特点
1、配管两端装有超声波探头，相互进行收发信号，测定各自传播时间。
2、无突出部位暴露在流液内不会产生测量误差。
3、与液体接触部完全使用TEFLON制造。
4、测量范围大。
技术参数
| 具体型号 | USF100A-G10EP |
| 计测方式 | 超音波传播时间差方式 |
| 耐压力 | 0.5MPa |
| 测定流量范围 | 0.05-2L/min |
| 分辨能力 | 1L/min |
| 更新周期 | 0.01秒 |
| 测定流量精度 | ±1%FS |
| 测定对象 | 流量（纯水、药液） |
应用领域
半导体制造装置内，涂布药液的流量管理。