真空烧结炉配套专用氩气纯化装置

　　一、概述 

　　氩气作为真空炉的冷却、保护气，为了提高产品的质量，通过使用本公司生产的氩气纯化装置，纯化后氩气的纯度大于99.9995%；当氩气中杂质氧含量小于1ppm时，水分也小于2.5ppm时，制作出的产品其碳化合物含量就小于1ppm，这样就大大提高了产品质量，赢得客户的满意和市场的需求。

　　一般液氩纯度是符合99.995%要求的。由于汽化后未经过纯化处理，它的氧含量一般在3ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围，但使用氩气的客户确不知道其质量，所以往往给生产产品质量造成影响。有了本公司提供的氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何，只要经过纯化装置的处理后，纯度始终是恒定的。这样稳定的氩气质量有助于提高产品质量、提高生产效率。

　　二、本公司生产的真空炉配套氩气纯化装置对原料氩气要求      

　　一般瓶装纯氩，液氩、控制较好的管道氩气。

　　杂质要求: O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm。

　　输出纯气

　　纯度:99.9998%

　　杂质含量:

　　O2≤0.5PPm，

　　H2O≤1PPm(即露点≤－76℃)，

　　CO+CO2≤0.1PPm，

　　S、P的氧化物≤0.1PPm。

　　尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升。

　　工作压力:0.4-1.5MPa。

　　处理气量:4NM3/h（其余流量需要定制）。

　　三、设备特点

　　1)   催化剂活性高，净化后的气体纯度高。

　　2)   双式结构，一组工作另一组再生备用，故能长期连续供气。

　　3)   采用本机纯气吹扫的再生流程，再生不用氢，故不需专用机房，安全性好。材料（如高温石墨化炉、碳化炉、真空烧结炉以及各种碳素材料的碳化及石墨化加热设备、单晶硅、多晶硅、高纯金属、贵金属）生产的保护气氛。

　　4)   设备操作方式分有半自动操作和全自动操作方式，更有效的满足用户选择性。