详细说明
该真空导入器产品采用高品质的焊接波纹管，保证十万次以上的循环使用，轴向驱动力可达到150N，在保证超高真空密封的同时，通过手动调节手轮（或电机驱动），实现高精度的直线驱动，精确位置控制，安装角度自由；根据客户要求，可以制作各种驱动长度。有波纹管内置型、波纹管外置型和中空型三种结构，客户根据使用要求选用。
| 主要参数 |
| 适用范围: | 105～5x10-7Pa |
| 真空漏率: | ≤1x10-10Pa.m3/s |
| 适用温度: | -30～300℃ |
| 驱动方式: | 手动 |
| 驱动方向: | 直线 |
| 安装状态: | 任意方向 |
| 连接方式: | CF法兰或客户指定 |
| 主要零件材料 |
| 焊接波纹管 | 316L |
| 刻度圆柱 | 304 |
| 进给刻度盘 | LV12阳极化 |
| 订货型号 | 接口法兰 | 驱动距离(mm) | 精度(mm) | L（mm） | R/E(mm) | A(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | K(mm) |
| LMF-N-CF35-50 | CF35 | 50 | 0.02/0.01 | 130 | 56/106 | 34 | 70 | 47 | M4X10 | 24 |
| LMF-N-CF35-100 | CF35 | 100 | 0.02/0.01 | 180 | 76/176 | 34 | 70 | 47 | M4X10 | 24 |
| LMF-N-CF35-150 | CF35 | 150 | 0.02/0.01 | 230 | 96/246 | 34 | 70 | 47 | M4X10 | 24 |
根据客户要求，可以制作各种驱动长度
| 订货型号 | 接口法兰 | 驱动距离S(mm) | 精度(mm) | L（mm） | A(mm) | B(mm) | C(mm) | MD x K(mm) |
| LMF-S-CF16-50 | CF16 | 50 | 0.02/0.01 | 184 | 11 | 34 | 45 | M5x12 |
| LMF-S-CF16-100 | CF16 | 100 | 0.02/0.01 | 255 | 11 | 34 | 45 | M5x12 |
| LMF-S-CF35-50 | CF35 | 50 | 0.02/0.01 | 156 | 12 | 70 | 47 | M6x12 |
| LMF-S-CF35-100 | CF35 | 100 | 0.02/0.01 | 230 | 12 | 70 | 47 | M6x12 |
| LMF-S-CF35-150 | CF35 | 150 | 0.02/0.01 | 310 | 12 | 70 | 47 | M6x12 |
根据客户要求，可以制作各种驱动长度