详细说明
LSH抛光布广泛应用于硅(Si)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、蓝宝石、水晶等粗抛以及精密抛光。日本的信越半导体(硅片)、京瓷(蓝宝石)、并木(蓝宝石)、俄罗斯MonoCrystal(蓝宝石)、等多家公司都在使用该抛光布。
一、蓝宝石粗抛布(N0261)
物性说明:
品名 (LVSHAN): N07126 H
用途 (FOR USES) : CMP *粗研磨用
物理性质各项参数 ( PHYSICAL PROPERTIES )
项目重量厚度密度压缩率弹性率硬度绒长开口径
单位g/m2mmg/m3%%Asker Cμmμm
测定值6451.40.540.976396----
TEST
METHODJIS-
K6328JIS-
K6328JIS-
K6328JIS-
L1096JIS-
L1096JIS-
K6301OWN
METHOD
(物理性质数据只是测定数值,不作为规格数值。)
(The above is not standard, but measured figures.)
产品特点:
v 能提高研磨效率,研磨面的表面状态如均匀的毛玻璃状态;
v 采用高硬度的不织布,使用寿命长;
v 可以用来金属的研磨,并可以使用研磨砂,有相应实绩;
v 可以根据用户要求开槽。
同比市面上较多的罗门哈斯SUBA系列抛光布具有以下优点:
v 抛光寿命更长
v 价格更加低廉
v 性能与SUBA系列持平