详细说明
随着表面贴装技术发展和元器件的日益小型化,印制电路组件也日益向小型化和高密度方向发展,这给印制电路组件的三防措施提出了新的要求。存在于传统三防之中的涂层厚且不均、棱角处涂层较薄、介电强度不够、有针孔和气泡等弊端尤为突出。
Parylene采用了一种独特的化学气相沉积工艺(CVD)。CVD工艺最早应用于半导体工业的外延生长,整个过程是气态反应,又在真空条件下进行,因而可以获得非常均匀的涂层,Parylene达到其它方法难以实现的同形性。
派瑞林沉积过程过程主要有三步:
1. 真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2. 真空680℃条件下,将气态双份子裂解成活性单体。
3. 真空常温下,气态单体在基体上生长聚合。