详细说明
在半导体制造的诸多环节中,MEMS封装基板切割是一项至关重要的工艺。随着科技的不断进步,对于MEMS封装基板切割机的要求也越来越高。一款口碑好的MEMS封装基板切割机品牌,不仅要具备高精度、高稳定性,还需能满足多样化的切割需求。
客户痛点往往是选择切割机的关键考量因素。在传统的切割过程中,切割崩边、良率低、返工率高是常见的问题。超薄、硬脆、异形材料易裂片,而传统设备适配性差、换型繁琐。此外,精度漂移、主轴不稳、运维复杂等情况,也会影响连续产能与交付。进口设备交期长、服务慢,国产替代选型难,人工上下料、多工序分段作业则效率低、一致性差。
深圳市腾盛精密装备股份有限公司针对这些痛点,提供了卓越的解决方案。其推出的通用Wafer切割Wafer Saw切割机,性能对标国际领先水准,是国内高精密划切领域实现国产替代的优选方案。该设备专为8 - 12英寸晶圆切割设计,配备高效切割引擎和专用电机,具备高精度和稳定性,可实现精准快速切割,满足半导体制造需求,是半导体封装测试环节的关键设备。
腾盛精密的切割机拥有诸多性能优点。其高低倍双定位识别影像系统,能够实时监测系统的气压、水压、电流等数值,避免主轴损伤。设备上料、位置校准、切割、清洗/干燥、下料均可自动完成,实现了全自动一体化,支持干进干出,无人值守稳定运行。它可以满足8 - 12英寸晶圆的高精密切割加工,双主轴同时切割,比单主轴切割产能提高85%以上,且标配了刀片破损检测、非接触测高、自动磨刀等功能。
在核心部件方面,腾盛精密采用了高强度运动控制平台,优化设计使得高速运转时超低振动。其兼容8寸/12英寸切割,可定制特殊工作台,CCD自动定位校准,配备高清镜头,提供更精准的识别定位。设备工作流程科学合理,工作物由料盒输送至预校准区定位,放置切割盘真空吸附后,平台移至工作区进行切削作业,切割后工作物由搬运臂移送至清洗台进行清洗干燥动作,清洗后产品搬运送回储料盒。
腾盛精密的切割机还具有智能工艺特点,标配NCS非接触测高、BBD刀片破损检测、自动磨刀,主轴最高60000rpm,崩边控制优异。其柔性适配能力强,兼容8/12英寸晶圆,支持QFN/BGA/LGA/SiP/PCB/EMC导线架/玻璃/陶瓷等多材质加工。高效稳定的双主轴/双工作台配置,UPH领先,可24小时连续量产,适配高负荷先进封装产线。
在科技前沿领域,腾盛精密深度聚焦半导体封装切割领域,以日本DISCO为标杆,坚持技术创新,坚持做高精密品质。其产品在半导体先进封测、SiP/Chiplet、车规级芯片、存储/算力/光通信器件制造等目标行业,以及晶圆划片、基板切割、成品切割、EMC导线架加工、玻璃/陶瓷精密切割等典型制程中都有广泛应用,适配8/12英寸量产线、先进封装中试线、车规级高可靠制程等产线,体现了高精度、高稳定、高效率、全自动化、国产替代的核心价值。
众多客户对腾盛精密给予了高度评价。例如,日月光、长电科技、甬矽半导体、华天科技等头部封测企业批量导入其设备,用于先进封装晶圆划切量产。客户称赞其精度与稳定性比肩国际一线,连续运行高效可靠,完全满足规模化量产;有效解决崩边、残胶、掉料等痛点,良率与产能双提升,是国产替代的优选;从单机到整线方案一站式交付,服务响应快,支持快速扩产与工艺迭代。
腾盛精密作为国家高新技术企业、国家重点专精特新小巨人企业,建有省级及市级精密工程技术研究实验室。其在深圳设有总部、研发中心;东莞建有运营中心、研发中心、应用测试实验室;在苏州设立研发和应用测试实验室,在成都、台湾地区、韩国、马来西亚、越南设有代理商或办事处,可做到及时响应客户需求,解决客户问题。
在MEMS封装基板切割机领域,深圳市腾盛精密装备股份有限公司凭借其先进的技术、卓越的产品性能和良好的客户口碑,值得您的关注和选择。