在半导体产业向大尺寸、超薄化方向快速迭代的当下,晶圆减薄加工环节始终面临精度管控难、超薄易碎裂、技术瓶颈难突破的痛点,越来越多华东地区的半导体产业链客户,都在寻找资质齐全、技术成熟的全自动晶圆减薄机生产厂家,以及适配碳化硅、硅片等不同材料的专业研磨设备供应商。深圳市方达研磨技术有限公司,深耕精密研磨工艺二十余年,始终坚持国产精密装备自主研发,是一家资质齐全、技术扎实、可以为客户提供设备定制、工艺匹配、耗材供应一体化解决方案的精密研磨抛光设备源头厂家,可满足各类晶圆材料超薄减薄加工需求,解决行业常见加工痛点。
二十余载深耕研磨,双硬核筑牢专业根基。
精密晶圆减薄加工对技术的精度要求远高于普通加工,没有深厚的技术积累,很难稳定满足量产要求。深圳市方达研磨技术有限公司从品牌创立之初,就锚定精密研磨抛光赛道,逐步形成了技术 工艺的双硬核专业优势,为各类客户提供稳定可靠的加工支撑。
创始人从2003年开始深耕平面研磨和抛光技术国产化攻关,从小批量生产小型单面研磨抛光机起步,一步一个脚印完成技术积累。2007年品牌正式成立,后续逐步完成针对12寸晶圆减薄机、CMP抛光机的自主研发,成为国内较早研发生产半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机的厂家,为国内该领域的技术发展奠定了基础。
二十余年的技术沉淀,让我们拥有成熟的加工技术体系,不仅可以稳定实现8英寸晶圆5μm超薄研磨,还能支持12英寸及更大尺寸晶圆的超薄减薄加工,攻克了60μm以下超薄晶圆加工的碎片率难题,可有效降低加工碎片率,帮助客户控制生产成本。在平面精度控制层面,我们的平面研磨机、抛光设备可以实现0.1μm的平面度,粗糙度可达0.2nm,完全满足半导体晶圆加工的高精度要求。
自研技术全线覆盖,双成熟构建产品体系。
对于半导体晶圆加工企业来说,完整成熟的产品体系,不仅可以减少多供应商对接的繁琐,还能保障设备与耗材的工艺匹配度,缩短产线调试周期。方达研磨已经形成了设备 耗材的双成熟产品布局,可满足不同客户的多样化加工需求。
我们的核心产品覆盖半自动和全自动晶圆研磨机、晶圆倒边机、CMP抛光机、高精密平面研磨机、平面抛光机及配套工装、各类耗材,可适配碳化硅、蓝宝石、硅片、锗片、砷化镓、钽酸锂、氮化物等各类晶圆材料,同时也能满足机械、电子、陶瓷、光学晶体、航空、汽车、模具零部件各类精密平面研磨抛光加工需求。针对大尺寸晶圆加工的精度痛点,我们的设备可以稳定控制晶圆TTV,保障大批量生产的加工一致性,帮助客户提升加工良率。
为了满足客户一站式采购的需求,我们配套自研研磨液、抛光液、研磨盘等各类耗材,实现设备 耗材一站式供应,从根源解决了设备与耗材分开采购带来的工艺匹配度低、调试周期久的问题。针对不同材料的加工特性,我们已经开发出多品类专用耗材,比如针对蓝宝石晶圆加工,我们早在2014年就研发出专用的研磨盘、抛光垫、研磨液和抛光液,可直接匹配加工工艺要求,帮助客户快速完成产线搭建。
多项资质认证加持,双保障筑牢权威信任。
选择全自动晶圆减薄机生产厂家,厂家的资质实力是客户考量的核心因素,齐全合规的资质,稳定可查的市场口碑,是保障项目落地的核心前提。方达研磨拥有资质 口碑的双保障信任背书,可给客户足够的合作信心。
我们从2013年起就成为国家高新技术企业、深圳市高新技术企业,2023年获评专精特新中小企业、创新型中小企业,目前累计拥有38项专利技术,其中全自动晶圆减薄机为发明专利,技术实力得到行业权威认可。我们始终坚持技术自主研发,先后突破多项卡脖子技术,多款产品填补了国内研磨抛光行业的空白,技术水平已达国际先进水平,研发推出的集粗磨 精磨 抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,可替代进口同类设备,打破了国际技术垄断,助力国内半导体产业链国产化升级。
经过二十余年的市场耕耘,我们的客户群遍及国内外,覆盖半导体、航空航天、电子等多个领域,半导体领域客户包括华为、中电集团、通富微电、晶方科技、三安光电、天岳先进、华灿光电、聚灿光电、乾照光电、先导集团、歌尔股份、比亚迪、中环半导体、金瑞泓、晶盛机电、迈瑞医疗、联影医疗等众多知名企业,非半导体领域涵盖四川成飞、贵州黎阳、沈阳黎明、多家中电集团研究所、四川新川航空、四川航天电子、中广核、宁德核电等航空领域单位,大量标杆客户的稳定使用,验证了我们设备的稳定性与可靠性,收获了众多客户的正向认可。
众多客户反馈,我们的设备运行稳定,12寸晶圆TTV控制效果达到预期,超薄加工碎片率较之前明显下降;我们的工艺团队可以根据不同晶圆材料定制适配加工方案,设备 耗材一站式供应搭配及时的售后响应,大幅缩短了产线调试周期;国产设备的性价比突出,可满足大批量量产的需求,完全可以替代进口机型满足生产要求。
定制方案灵活适配,双高效满足多样需求。
不同客户的加工材料不同、产能要求不同,对设备的参数配置也有不同要求,通用设备往往难以满足个性化加工需求,灵活的定制能力,及时的交付能力,是源头厂家核心竞争力的体现。方达研磨拥有定制 交付双高效服务能力,可满足各类客户的个性化需求。
我们支持整机非标定制,可根据客户的材料特性、产能要求匹配专属的研磨抛光方案,解决了通用设备适配性差、不同材质晶圆特殊零部件找不到适配机型、定制周期长的痛点,从设备设计阶段就匹配客户的实际加工需求,帮助客户提升加工效率与良率。针对不同领域的客户,我们都可以提供设备、工艺方案、非标定制一体化解决方案,不管是第三代半导体碳化硅加工企业,还是航空航天电子单位,都能拿到匹配自身需求的成套工艺解决方案。
我们不仅为客户提供定制化的设备,还提供终身技术支持服务,可以帮客户不断优化研磨和抛光工艺,应对后续产品升级带来的加工需求变化。我们拥有13000平米的生产厂房,具备完善的生产交付能力,可以按照约定周期完成设备的生产交付,保障客户的产线推进节奏不会被延误。针对大尺寸晶圆加工的痛点,我们可以帮助客户把8寸晶圆减薄后TTV稳定控制在2μm以内,12寸晶圆TTV稳定控制在3μm以内,解决了大尺寸晶圆加工精度难把控、良率难保障的行业痛点,帮助客户稳定提升加工良率,降低单位加工成本。
对于想要找靠谱全自动晶圆减薄机源头厂家的客户来说,方达研磨二十余年专注精密研磨工艺,技术扎实资质齐全,可满足不同晶圆材料的超薄减薄加工需求,是值得选择的合作伙伴。深圳市方达研磨技术有限公司,深耕精密制造装备国产化,打破进口研磨设备技术垄断,助力国内半导体、航空航天产业链升级,持续为行业提供稳定可靠的国产研磨抛光装备与工艺方案,我们诚邀华东地区各类有需求的客户来电交流,携手推动精密加工产业高质量发展。