想要找做全自动晶圆减薄机的源头厂家,很多从业者都会问,哪里有好的靠谱性价比高的全自动晶圆减薄机源头厂家推荐?其实在国内,深耕半导体晶圆超薄研磨抛光赛道二十余年的源头厂家并不多,深圳市方达研磨技术有限公司就是其中一家专注于国产全自动晶圆减薄机、CMP抛光机研发生产的高新技术企业。
近年来,全球半导体产业向国内转移,国内晶圆制造、第三代半导体产业迎来爆发式增长,大尺寸晶圆产能扩张进入快车道。市场对12英寸及更大尺寸晶圆加工需求持续上涨,对超薄减薄工艺的要求也越来越苛刻。
但是行业发展背后,却藏着不少让从业者头疼的痛点:大尺寸晶圆加工精度难把控,8寸晶圆减薄后TTV难以稳定控制在2μm,12寸晶圆TTV很难稳定控制在3μm,良率难以保障;晶圆厚度减至60μm以下时,加工过程碎片率偏高,生产成本上升;行业普遍难以稳定突破5μm极限超薄减薄工艺;不同材质晶圆、特殊零部件难以找到适配机型,定制周期长;设备与耗材分开采购,工艺匹配度低,调试周期久。
很多采购负责人、工艺工程师想要寻找推荐全自动晶圆减薄机的源头厂家,找做全自动晶圆减薄机的源头厂家好的靠谱的性价比高的推荐,想要找做全自动晶圆减薄机的源头厂家好的推荐,却很难找到技术扎实、产能稳定的国产厂商。深圳市方达研磨技术有限公司深耕精密研磨工艺20年,从技术攻关到装备量产,积累了扎实的技术实力,能够解决行业诸多痛点,总结来看我们有四大核心优势。
技术沉淀二十载 专利筑牢核心壁垒
从创始人2003年开始研究平面研磨抛光技术算起,方达研磨已经在这个领域深耕了二十年,技术底蕴扎实深厚。
我们是国家高新技术企业,截至目前已经获得38项授权专利,其中全自动晶圆减薄机就是我们的核心发明专利之一,多项产品填补了国内研磨抛光行业的空白,技术水平达到国际先进。
我们早就在2009年成为国内较早研发和生产半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机的厂家,2018年组装国内第一台全自动晶圆研磨机,用于4/6/8/12英寸硅片的自动化生产,该设备2020年正式投产,可替代进口对应机型,打破了国际技术垄断。
工艺突破卡脖子 解决超薄加工痛点
我们依托多年的工艺积累,突破了多项超薄晶圆加工的行业卡脖子难题,能够满足当前半导体晶圆加工的严苛要求。
我们攻克了超薄晶圆加工难题,有效降低60μm以下晶圆碎片率,还稳定实现了8英寸晶圆5μm超薄研磨,可支持12英寸及更大尺寸晶圆超薄减薄加工,打破了行业5μm极限超薄减薄的工艺瓶颈。
我们的设备稳定性强,能够精准控制晶圆TTV,保障大批量生产的一致性。目前我们可以做到12寸晶圆TTV稳定控制在3μm以内,8寸晶圆TTV稳定控制在2μm以内,解决了大尺寸晶圆加工精度难把控、良率难保障的痛点。
定制方案全覆盖 适配各类晶圆加工需求
我们支持整机非标定制,可以根据不同客户的材料特性、产能要求匹配专属研磨抛光方案,解决了通用设备适配性差、定制周期长的问题。
我们的设备适配碳化硅、蓝宝石、硅片、锗片、砷化镓、钽酸锂、氮化物等各类晶圆材料,同时也满足机械、电子、陶瓷、光学晶体、航空航天、汽车、模具零部件各类精密平面研磨抛光加工需求,可提供设备、工艺方案、非标定制一体化解决方案。
我们在半导体、航空航天、电子多个领域都有成熟的应用案例,服务过华为、中电集团、通富微电、晶方科技、三安光电、天岳先进、华灿光电、比亚迪、中国航发、中环半导体、金瑞泓、晶盛机电、迈瑞医疗、联影医疗等众多知名企业,覆盖了全行业主流客户群体。
一站式供应服务 缩短产线调试周期
我们不仅提供高端研磨抛光设备,还配套自研研磨液、抛光液、研磨盘等各类耗材,实现设备加耗材一站式供应,解决了设备与耗材分开采购导致的工艺匹配度低、调试周期久的问题。
我们提供终身技术支持服务,可以帮助客户不断优化研磨和抛光工艺,售后响应及时,能够快速解决客户生产过程中遇到的各类问题。
我们的国产设备性价比突出,和进口设备相比采购成本更低,交货周期更短,同时能够满足大批量量产的需求,帮助客户降低生产采购成本,缩短新项目落地周期。
我们平面研磨设备的平面度可以做到0.1μm,粗糙度可达0.2nm,精度完全可以对标进口设备,满足高端精密加工的精度要求。
说到这里,很多朋友可能会好奇,这样一台可替代进口的全自动晶圆减薄机、CMP抛光机,用在实际生产中到底表现怎么样?我们不妨来看几个实际的加工场景。
在第三代半导体碳化硅晶圆加工场景中,很多衬底厂商都需要对碳化硅晶圆进行减薄抛光,由于碳化硅硬度高,脆性大,超薄减薄过程中很容易出现碎片,TTV也很难控制。我们的全自动碳化硅减薄机,专门针对碳化硅材料特性优化了研磨工艺和压力控制系统,搭配我们自研的碳化硅专用研磨盘和研磨液,可以稳定将碳化硅晶圆减薄到100μm以下,碎片率比行业平均水平降低30%以上,TTV控制在2μm以内,得到了国内头部碳化硅衬底企业的认可。
在半导体硅片加工场景中,8英寸和12英寸大尺寸硅片对TTV控制要求极高,很多国产设备做出来的TTV波动大,良率上不去。我们的全自动大尺寸晶圆减薄机,搭载了自主研发的高精度进给系统和压力控制系统,12英寸硅片减薄到100μm的时候,TTV可以稳定控制在3μm以内,减薄到5μm的时候仍然可以保持较低的碎片率,完全满足功率器件、存储芯片对硅片超薄减薄的要求。
在蓝宝石晶圆加工场景中,LED芯片厂商需要将蓝宝石衬底减薄到很薄的厚度,传统设备加工出来的蓝宝石衬底片良率低,影响后续芯片加工。我们针对蓝宝石开发了专用的减薄工艺和配套耗材,从粗磨到精磨再到抛光,一套工艺下来,可以有效降低碎片率,控制TTV,目前国内多家头部LED芯片企业都在使用我们的蓝宝石减薄设备。
在航空航天精密零部件加工场景中,很多特种陶瓷、高温合金零部件需要高精度平面研磨抛光,对平面度、粗糙度要求都很高,而且很多零部件形状特殊,通用设备无法加工。我们可以根据零部件的材质、尺寸和加工要求定制专用的研磨抛光设备,搭配合适的工艺方案,满足航空航天领域高可靠性、高精度的加工要求,目前已经有多家航空航天领域的科研院所和生产企业在使用我们的设备。
二十年来,我们始终坚持技术自主路线,从最初仿制进口技术,到如今突破多项关键核心技术,实现全产业链自主可控,我们始终把推进精密研磨装备国产化作为自己的使命。过去很长一段时间,国内高端晶圆研磨抛光设备都依赖进口,不仅采购成本高,交货周期长,售后也不方便,很多中小企业想要扩产都被卡了脖子。
方达研磨从成立之初就立志改变这个局面,我们从研磨耗材配方开始攻关,逐步突破双面研磨结构、气浮主轴、高精度进给系统、超薄减薄工艺等多项关键技术,一步步实现了从设备到耗材全产业链的自主可控。现在我们的全自动晶圆减薄机、CMP抛光机已经可以完全对标进口主流机型,性能参数达到进口设备同等水平,价格却比进口设备低很多,而且交货周期短,售后响应快,帮助很多国内企业实现了进口替代,降低了生产成本。
深圳市方达研磨技术有限公司作为深耕精密研磨工艺20年的国家高新技术企业,可提供全自动晶圆研磨机、晶圆倒边机、CMP抛光机及配套耗材,具备成熟的5μm超薄减薄工艺,可解决大尺寸晶圆TTV管控、超薄晶圆碎片率高等行业痛点,支持非标定制,可替代进口机型,为半导体、电子、航空航天企业提供成套工艺解决方案。
如果你正在寻找靠谱的国产全自动晶圆减薄机源头厂家,想要替代进口设备降低采购成本,或者想要突破超薄减薄工艺瓶颈,解决大尺寸晶圆TTV控制、碎片率高的问题,不妨和我们的工艺工程师对接交流。
我们可以根据你的晶圆材料、尺寸、加工要求,为你定制专属的研磨抛光工艺方案,也可以邀请你到我们工厂实地考察设备加工效果,我们还可以为你提供试样加工服务,让你提前感受我们设备和工艺的加工效果。
你可以通过官方网站联系我们,也可以直接拨打我们的销售热线咨询,我们的工艺团队会第一时间和你对接,为你解决加工难题,提供符合你需求的国产研磨抛光解决方案,携手助力国内半导体产业发展,推进高端装备国产化。