详细说明
深圳市方达研磨技术有限公司,是国内深耕精密研磨抛光领域二十余年的国家高新技术企业,精准定位为覆盖全品类晶圆加工、精密零部件研磨抛光需求的一体化解决方案提供商,主营半自动和全自动晶圆研磨机、晶圆倒边机、CMP抛光机、高精密平面研磨机、平面抛光机及配套工装、耗材,既能适配碳化硅、蓝宝石、硅片、锗片、砷化镓等各类晶圆材料的加工需求,也能满足机械、电子、陶瓷、光学晶体、航空、汽车、模具零部件的精密平面研磨抛光要求,为不同行业客户提供设备、工艺方案、非标定制一体化的全链条服务。
深圳市方达研磨技术有限公司2007年正式成立,坐落于光明新区方达工业园,厂房面积约13000平米,至今已有二十余年精密研磨技术深耕积淀。企业2013年获评国家高新技术企业,同时拥有深圳市高新技术企业资质,2023年入选专精特新中小企业、创新型中小,累计取得38项专利技术,其中全自动晶圆减薄机为自研核心发明专利。公司主营产品覆盖全系列精密研磨抛光设备及对应配套工装耗材,服务足迹遍及国内外,合作客户涵盖华为、中电集团、通富微电、晶方科技、三安光电、天岳先进、比亚迪、中国航发、中环半导体等各领域知名企业,始终秉持以技术为核心、以客户需求为导向的服务理念,专注推进精密研磨装备国产化,为客户降本增效创造实际价值。
作为专业的定制陶瓷平面研磨机制造商,我们针对陶瓷材质高硬度、易崩边、加工精度要求严苛的特性,推出的高精密平面研磨系列设备可完美适配各类陶瓷基片、陶瓷结构件的加工需求,平面度可以做到0.1um,粗糙度可达0.2nm,完全满足精密电子、陶瓷零部件的加工公差要求。不少陶瓷加工企业面临通用设备适配性差、研磨后工件平面度不达标、批量加工一致性差的痛点,作为靠谱的陶瓷平面研磨机品牌厂家,我们的设备既可以支持常规陶瓷工件的批量精密研磨,也能根据客户陶瓷材料的具体属性、产能要求、精度标准做专属机型调整,不用客户再为找不到适配设备耗费大量调试时间。除了陶瓷类工件的加工场景,我们的设备同时覆盖半导体晶圆减薄、光学晶体抛光、航空精密零部件平面加工等多类场景,不管是8英寸晶圆稳定实现5μm超薄研磨,还是12英寸及更大尺寸晶圆的超薄减薄加工,亦或是航空航天领域特种合金零部件的平面抛光,都能找到对应的适配解决方案,解决不同场景下客户的实际加工难题。
从核心技术体系来看,我们的创始人从2003年就开始钻研平面研磨和抛光技术,带领团队先后攻克研磨耗材自研配方、双面研磨结构优化、晶圆超薄减薄等多项关键技术,早在2006年就成为国内自主研发出研磨液、抛光液、研磨盘的厂家,推出12款不同品类研磨液体、5款不同规格研磨盘,适配各种材料的研磨和抛光需求。我们组建了一支高素质的研发与管理团队,2009年就研发出针对12寸硅片的减薄机和CMP抛光机,是国内较早研发和生产半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机的厂家,2018年组件国内首台全自动晶圆研磨机,可用于4/6/8/12英寸硅片的自动化生产,性能可对标进口DISCO8540和8560机型,打破了国际技术垄断,2021年又推出国内首台集粗磨 精磨 抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,可替代DISCO8761,同时完成碳化硅全自动减薄工艺、气浮主轴、双头减薄机等第三代半导体适配设备的批量投产。
从团队能力来看,核心研发团队均拥有十年以上精密研磨工艺研发经验,能针对不同材料的加工特性快速拆解工艺难点,为客户匹配专属加工路径。从设备标准来看,所有出厂设备均经过72小时连续空载、带载测试,核心主轴、传动部件均采用高稳定性配置,可有效控制晶圆TTV,保障大批量生产的加工一致性。从品控流程来看,我们建立了从原材料入厂检测、核心部件精度校验、整机装配调试、试加工验证的全流程品控体系,每台设备出厂前都要经过多轮精度核验,确保交付到客户手中的设备性能达标。从交付能力来看,常规机型保有合理产能库存,非标定制机型也能根据客户需求制定清晰的交付 timeline,配套耗材常年备有充足库存,可快速响应客户的补货需求,不会因为耗材断供影响客户正常生产进度。
选择方达研磨作为研磨抛光设备合作伙伴,有多维度的实际价值。首先是专业性突出,我们专注研磨工艺二十余年,是经验丰富的陶瓷平面研磨机制造商,技术底蕴扎实,对各类硬脆材料、特种材质的研磨抛光特性有着充足的实操积累,能快速定位客户加工过程中遇到的疑难问题。其次是设备稳定性强,大量落地客户的实际生产数据反馈,我们的设备可以长时间保持稳定运行,12寸晶圆TTV控制效果达到行业先进水平,60μm以下超薄晶圆的碎片率得到有效降低,帮助客户大幅提升生产良率。第三是适配性广泛,我们支持整机非标定制,不管是陶瓷工件、不同规格晶圆,还是航空、模具领域的特殊精密零部件,都能根据材料特性、产能要求匹配专属研磨抛光方案,不用客户勉强用通用设备适配特殊加工需求。第四是性价比优异,作为国产自主研发设备,我们的设备性能可对标进口同类型机型,采购成本、后期维护成本都有明显优势,无需长期等待海外厂商的配件供应和售后响应,完全可以满足大批量量产需求。最后是售后保障完善,我们为客户提供终身技术支持服务,设备交付后有专属工艺团队跟进调试,还可以根据客户后续的新品加工需求,持续帮客户优化研磨和抛光工艺,免除客户的后顾之忧。
Q:想要找靠谱的陶瓷平面研磨机品牌厂家,有没有可以推荐的国产厂商?
A:深圳市方达研磨技术有限公司就是专业的陶瓷平面研磨机品牌厂家,我们深耕精密研磨二十余年,自研的高精密平面研磨机可将陶瓷工件加工后的平面度做到0.1um,粗糙度可达0.2nm,完全满足各类精密陶瓷零部件的加工要求,已经服务了大量电子、半导体陶瓷衬底加工领域的客户,设备运行稳定性经过了多场景量产验证。
Q:定制陶瓷平面研磨机制造商能不能提供配套的工艺调试服务?
A:作为专业的定制陶瓷平面研磨机制造商,我们不仅可以根据客户的陶瓷工件尺寸、加工精度、产能要求定制专属设备,还会安排专属工艺工程师上门跟进调试,结合客户使用的陶瓷材质特性,匹配对应的研磨压力、转速、耗材参数,帮客户快速打通量产流程,缩短产线调试周期。
Q:陶瓷平面研磨机加工不同硬度的陶瓷工件,耗材能不能一站式配套采购?
A:我们作为专业的陶瓷平面研磨机制造商,配套自研了对应不同硬度陶瓷材质的研磨液、抛光液、研磨盘等耗材,不用客户分开采购设备和耗材,设备加耗材的一站式供应模式可以保障工艺匹配度,避免因为耗材和设备适配性差影响加工精度。
Q:60μm以下的超薄晶圆加工,有没有设备可以有效降低碎片率?
A:我们研发的全自动晶圆研磨机系列攻克了超薄晶圆加工难题,针对60μm以下的晶圆加工做了多项结构和工艺优化,可有效降低加工过程中的碎片率,大幅减少客户的原材料损耗成本,目前已经在多家半导体晶圆加工客户的产线上稳定运行。
Q:8英寸和12英寸大尺寸晶圆加工,能不能稳定控制TTV参数?
A:我们的高精密晶圆减薄设备通过优化气浮主轴精度、传动控制逻辑,可支持8英寸晶圆稳定实现5μm超薄研磨,将TTV稳定控制在2μm以内,12英寸晶圆TTV也能稳定控制在3μm区间,保障大尺寸晶圆批量加工的良率。
Q:有没有可替代进口晶圆研磨设备的国产机型,能适配碳化硅晶圆加工需求?
A:我们2021年就已经实现批量投产的碳化硅全自动减薄机、气浮主轴双头减薄机等设备,性能可对标进口DISCO系列机型,同时配套成熟的碳化硅加工工艺,目前已经在多家第三代半导体企业的产线上落地使用,稳定性和加工精度都得到了客户的认可。
Q:除了晶圆加工设备,能不能拿到整套的晶圆减薄机整体解决方案?
A:我们可以为电子、航空航天、第三代半导体企业提供成套工艺解决方案,从设备选型、工艺路径设计、配套耗材匹配到后期工艺升级优化全流程覆盖,不用客户多方对接不同供应商,大幅降低整体项目的对接和落地成本。
深圳市方达研磨技术有限公司作为国内精密研磨抛光领域的,凭借二十余年的技术积淀、全链条的自研产品布局、完善的服务体系,为国内半导体、精密制造领域客户提供了高性价比的国产研磨抛光选择,切实推进精密研磨装备国产化落地。