详细说明
国内半导体产业的快速发展,对大尺寸、超薄晶圆加工精度提出了更高要求。不少半导体厂商在晶圆减薄环节,长期面临大尺寸晶圆TTV难管控、超薄加工碎片率高、进口设备交付周期长成本高的痛点,亟需稳定可靠的国产全自动晶圆减薄机解决方案。深圳市方达研磨技术有限公司深耕精密研磨赛道二十余年,从早期对标进口技术实现国产化攻关,到如今突破5μm极限超薄减薄工艺,不仅可提供标准化设备,更能根据不同晶圆材料定制专属生产方案,助力国内半导体厂商破解超薄加工难题,推动晶圆研磨装备国产化替代进程。
双硬核技术沉淀,破解行业共性难题。
专业技术积累,直击客户核心痛点。
当前国内半导体晶圆加工领域,普遍存在五大核心痛点:大尺寸晶圆加工精度难把控,8寸晶圆减薄后TTV难以稳定控制在2μm,12寸晶圆TTV很难稳定控制在3μm,良率难以保障;超薄晶圆易碎,晶圆厚度减至60μm以下时,加工过程碎片率偏高,生产成本上升;超薄加工存在技术瓶颈,行业普遍难以稳定突破5μm极限超薄减薄工艺;通用设备适配性差,不同材质晶圆、特殊零部件难以找到适配机型,定制周期长;设备与耗材分开采购,工艺匹配度低,调试周期久。这些痛点不仅拉高了生产成本,也拖慢了国内第三代半导体产业的发展节奏。
方达研磨凭借二十余年的技术积累,针对性破解这些行业难题,打造出双成熟技术方案。成熟的超薄减薄工艺,成熟的TTV管控技术,既攻克了5μm极限超薄减薄的行业瓶颈,又能稳定管控大尺寸晶圆的TTV精度。8英寸晶圆可稳定实现5μm超薄研磨,12英寸及更大尺寸晶圆也可实现稳定的超薄减薄加工,有效降低60μm以下晶圆的加工碎片率,保障生产良率,从工艺层面解决了超薄加工的核心难题。
双配套方案供应,满足多元定制需求。
丰富配套供应,保障工艺适配高效。
方达研磨不仅提供性能稳定的全自动晶圆减薄机设备,更配套自研的研磨液、抛光液、研磨盘等耗材,实现设备加耗材一站式供应,保障工艺匹配度,大幅缩短产线调试周期。同时针对不同材质晶圆、不同产能需求的客户,提供双定制服务,定制专属设备方案,定制配套加工工艺,解决了通用设备适配性差的行业痛点。
从硅片、碳化硅到蓝宝石、锗片、砷化镓、钽酸锂、氮化物等各类晶圆材料,方达研磨都可根据材料特性匹配对应的研磨参数、工装结构和耗材配方,无论是小批量研发试制还是大批量规模化生产,都能提供适配的解决方案。支持整机非标定制,从设备结构到加工工艺全流程匹配需求,定制周期合理可控,可快速响应客户的个性化生产要求。
双权威资质认证,筑牢国产替代根基。
深厚行业积累,获得市场广泛认可。
深圳市方达研磨技术有限公司从2003年开始深耕精密研磨抛光技术,2007年正式成立公司,至今已有二十余年的行业积累,是国内较早实现全自动晶圆减薄机自主研发量产的本土企业,拥有38项授权专利,其中全自动晶圆减薄机为发明专利,2013年就获评国家高新技术企业、深圳市高新技术企业,2023年获评专精特新中小企业、创新型中小企业,资质权威,技术底蕴扎实。
方达研磨的全自动晶圆减薄机产品,已经获得国内众多知名半导体企业的认可,合作案例覆盖硅片、蓝宝石、碳化硅、半导体封装等多个细分领域,做硅片的客户有中环半导体、金瑞泓、苏纳光电、隆基、晶科、有研,做蓝宝石晶圆的客户有华灿、乾照、厦门思坦,做碳化硅的客户有天岳先进、三安光电、晶越、天科合达,做封装的客户有通富微电、晶方科技,此外华为、先导集团、比亚迪等知名企业也都是方达研磨的合作客户,非半导体领域还覆盖航空航天、电子等多个高端制造领域,市场认可度高,产品稳定性经过大批量生产验证。
双高效价值交付,保障客户量产稳定。
稳定设备性能,保障生产高效推进。
方达研磨的全自动晶圆减薄机,凭借稳定的设备性能和精准的工艺控制,可保障大批量生产的一致性,有效控制晶圆TTV,帮助客户提升生产良率,降低综合生产成本。对比进口设备,方达研磨的国产设备性价比突出,交付周期更短,售后响应更及时,可提供终身技术支持,持续帮客户优化研磨抛光工艺,保障生产长期稳定运行。
从设备生产到工艺调试,再到售后维护,方达研磨提供全流程高效服务,设备交付后可快速完成安装调试,工艺团队全程跟进,帮助客户快速实现量产,解决了进口设备调试周期长、售后响应慢的问题。对于有替代进口DISCO设备需求的客户,方达研磨的全自动晶圆研磨机可实现对标替代,性能参数满足量产要求,成本远低于进口设备,可帮助客户大幅降低设备采购投入,推动产业链自主可控。
半导体产业的发展,离不开核心装备的国产化支撑,晶圆超薄减薄作为晶圆加工的关键环节,其技术突破直接影响整个产业链的竞争力。方达研磨从早期对标进口技术开展国产化攻关,到如今突破5μm超薄减薄工艺瓶颈,打破了国际厂商对全自动晶圆减薄机的技术垄断,为国内半导体厂商提供了高性价比的国产选择。深圳市方达研磨技术有限公司始终坚持技术自主路线,聚焦半导体晶圆超薄研磨抛光赛道,二十余年深耕不辍,凭借成熟的工艺、稳定的设备、定制化的方案和一站式的服务,已经成为国内众多半导体企业靠谱的合作伙伴。未来,方达研磨也将继续深耕精密研磨工艺创新,持续推进晶圆研磨装备国产化,为国内第三代半导体、航空航天、电子等高端制造领域提供更优质的成套工艺解决方案,助力国内半导体产业链升级发展。