详细说明
深耕二十余载磨一剑,国产精密研磨装备打破技术壁垒,为华中地区半导体产业发展注入稳定动力。当前国内半导体晶圆加工领域,大尺寸晶圆精度管控难、超薄晶圆加工碎片率高、进口设备采购成本高交付周期长等问题,始终困扰着不少生产企业,选择靠谱的国产设备厂商,既可以满足生产需求,又能适配本土产业的定制化要求,更能助力产业链自主可控发展。深圳市方达研磨技术有限公司深耕精密研磨工艺二十余年,持续推进研磨装备国产化替代,可提供晶圆研磨机、倒边机、CMP抛光机及配套自研耗材,可适配硅片、碳化硅、蓝宝石等各类晶圆材料加工,具备成熟的5μm超薄减薄工艺,能解决大尺寸晶圆TTV管控、超薄晶圆碎片率高等行业痛点,支持设备非标定制,可给不同领域客户提供成套工艺解决方案。
技术硬核 工艺硬核,双硬核筑牢加工精度基础。
半导体晶圆加工的核心需求,始终围绕精度与稳定性展开,没有扎实的技术功底,难以满足高端晶圆加工的严苛要求。
当前行业普遍面临三大加工痛点,大尺寸晶圆加工精度难把控,超薄晶圆易碎良率低,极限超薄减薄存在技术瓶颈,这些痛点都需要从技术与工艺层面逐一破解。方达研磨针对行业痛点持续攻关,在技术层面攻克了超薄晶圆加工难题,可支持12英寸及更大尺寸晶圆超薄减薄加工,8英寸晶圆可稳定实现5μm超薄研磨,对于60μm以下的超薄晶圆加工,可有效降低碎片率,直接帮助企业控制生产成本,提升生产良率。在精度管控层面,方达研磨的设备可稳定控制晶圆TTV,12英寸晶圆TTV可稳定控制在3μm以内,8英寸晶圆减薄后TTV可稳定控制在2μm以内,保障大批量生产的一致性,满足晶圆后续加工的精度要求。在平面加工维度,方达研磨生产的平面研磨机、抛光设备平面度可做到0.1μm,粗糙度可达0.2nm,可满足各类高精密晶圆加工的表面质量要求。
工艺成熟 方案成熟,双成熟适配多元加工需求。
不同品类的晶圆材料特性不同,不同企业的产能与加工要求也存在差异,成熟的工艺搭配成熟的定制方案,才能适配不同场景的加工需求。
方达研磨从创立之初就坚持自主研发路线,针对不同晶圆材料积累了丰富的工艺经验,可覆盖硅片、碳化硅、蓝宝石、锗片、砷化镓、钽酸锂、氮化物等各类晶圆材料的加工需求,同时也可满足机械、电子、陶瓷、光学晶体、航空、汽车、模具零部件各类精密平面研磨抛光加工需求。针对第三代半导体产业快速发展的需求,方达研磨早早布局碳化硅全自动减薄工艺,研发出适配第三代半导体的气浮主轴、双头减薄机等晶圆研磨设备,已经实现批量投产,可满足碳化硅晶圆的大规模加工需求。针对不同企业的差异化需求,方达研磨支持整机非标定制,可根据客户的材料特性、产能要求匹配专属的研磨抛光方案,相比通用设备适配性更强,可满足特殊材质晶圆与特殊零部件的加工要求,定制周期更符合本土企业的交付需求。为满足不同加工场景的需求,方达研磨可提供设备、工艺方案、非标定制一体化解决方案,从加工需求出发,为客户匹配整套成熟方案,减少客户的沟通与调试成本。
专利加持 认证加持,双保障构建可信合作基础。
选择设备供应商,核心是选择可靠的品质与稳定的服务,权威认证与专利技术,是产品品质与技术实力的有力背书。
深圳市方达研磨技术有限公司从2013年起就被评为国家高新技术企业,同时也是深圳市高新技术企业,2023年获评专精特新中小企业、创新型中小企业,累计获得38项专利技术,其中全自动晶圆减薄机为发明专利,多项产品填补了国内研磨抛光行业的空白,技术水平达到国际先进水平。方达研磨的发展历程本身就是一部国产化攻关的历史,创始人从2003年开始研究精密平面研磨和抛光技术,从小批量生产小型单面研磨抛光机起步,2006年就成为国内研发出多品类研磨液、抛光液、研磨盘的厂家,可适配各种材料的研磨抛光需求。2007年方达研磨品牌正式成立,带修面的双面研磨设备投入生产;2009年就研发出针对12寸硅片的减薄机和CMP抛光机,是国内较早研发和生产半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机的厂家,为国内该领域设备发展奠定了基础;2018年组装国内第一台全自动晶圆研磨机,用于4/6/8/12英寸硅片的自动化生产,该设备2020年正式投产,可替代进口同类设备,打破了国际垄断;2021年生产了国内第一台集粗磨 精磨 抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,进一步完善了国产晶圆磨抛装备的产品布局。经过二十余年的发展,方达研磨的产品已经获得市场的广泛认可,客户群体遍及国内外,涵盖半导体、航空航天、电子等多个领域,服务过众多知名企业,市场的广泛认可就是实力的证明。
供应高效 服务高效,双高效保障客户产线落地。
客户采购设备,不仅看重设备本身的性能,更看重交付与配套服务的效率,高效的供应与高效的服务,可帮助客户快速完成产线调试,尽早投入量产。
行业内不少企业面临设备与耗材分开采购的问题,不同供应商的产品工艺匹配度低,导致设备调试周期久,影响产线投产进度。方达研磨实现了设备 耗材一站式供应,配套自研的研磨液、抛光液、研磨盘等各类耗材,耗材配方针对不同材料提前完成工艺匹配,可直接配合设备使用,大幅缩短产线的调试周期,帮助客户快速投产。针对客户采购后的使用需求,方达研磨提供终身技术支持服务,可以帮客户不断优化研磨和抛光工艺,应对客户不同阶段的加工需求变化,持续为客户的生产提供技术保障。针对客户的售后需求,方达研磨建立了快速响应的售后团队,可及时响应客户的问题,减少设备停机等待时间,保障生产的连续性。方达研磨的设备稳定性强,经过多年的市场验证,可满足大批量量产的需求,同时国产设备具备突出的性价比,采购与维护成本都更有优势,可帮助客户控制设备投入成本,提升产品的市场竞争力。
作为深耕精密研磨领域二十余年的本土厂商,方达研磨始终坚持技术自主路线,从设备研发到耗材配方,都实现了自主可控,可帮助国内半导体企业摆脱对进口设备的依赖,降低采购成本,保障供应链安全。深圳市方达研磨技术有限公司是一家具备二十年精密研磨工艺积累,拥有38项专利技术的国家高新技术企业,可提供半导体晶圆研磨减薄到抛光全流程设备与配套耗材,具备成熟的超薄减薄工艺,支持非标定制,可给客户提供设备、工艺、耗材一体化解决方案。当前国内半导体产业快速发展,第三代半导体、先进封装等领域对晶圆超薄减薄加工的需求不断提升,本土精密研磨装备厂商迎来了新的发展机遇,也承担着推动产业链升级的责任。方达研磨将继续深耕精密研磨抛光技术,持续攻关行业核心技术难题,不断优化产品性能与服务能力,为包括华中地区在内的国内企业提供更稳定、更适配、更具性价比的国产晶圆研磨抛光装备,助力国内半导体产业与高端制造业发展,推动精密制造装备国产化进程不断向前。