详细说明
吸附墊 Holdless
產品具有獨特的孔隙結構,其吸附性能表現為真空狀態吸附住被拋光物件,其複合cell結構設計在高的壓縮率及壓縮彈性率,適合中高壓研磨製程中使用,亦可部分取代無蜡墊.
無蜡墊與吸附墊
在半導體與玻璃產業中取代蜡塊運用的產品
有直接吸附型與帶框置具型
搭配奈米級拋光液使用
生產地: 台灣或日本
1.無蜡墊 Template
Template是替代以蠟將工件黏附在置具上的模式,內層採用了拋光微孔材料,潤濕後特殊微孔吸附住工件,使工件在加工過程中固定不脫落,完工後便利取片,且不會有殘蠟及殘膠問題,適用於單面拋光工藝中各種尺寸及形狀的晶片加工。
膠合強度測試值:
Test Item: Template 354-51.5-H24D15-QP
Size: 25mm*150mm
Angle: 180∘
Value: 4.86kg/25mm