| 机型 参数 | VMS2010 | VMS3020 | VMS4030 | VMS5040 |
| 工 作 台 | X/Y轴行程 | 200*100 | 300*200 | 400*300 | 500*400 |
| Z轴行程 | 有效空间245mm,调焦行程180mm工作距离95mm |
| 玻璃台面尺寸 | 230*130 | 330*230 | 430*330 | 530*430 |
| 传动型式 | X/Y轴光杆传动、Z轴手轮传动 |
| 数字测量系统 | 光学尺分辨率:X/Y/Z轴0.0005mm |
| 多功能数据处理器可测点、线、图、圆、角度 |
| 影像瞄准系统 | 摄像机:本彩色1/3″CCD摄像机放大倍率30-230X |
| 镜头:同轴光高清变倍镜头//连续放大倍率0.7-4.5X |
| 照明系统 | 表面光源与透射光源冷光源、命长、亮度可调 |
| 仪器外形尺寸（L*W*H） | 600*400*1100 | 750*500*1100 | 850*600*1200 | 1050*750*1200 |
| 仪器重量（KG） | 150 | 180 | 250 | 280 |